በቫኩም የተሸፈነ ቧንቧ(VIP) በተለያዩ የከፍተኛ የቴክኖሎጂ መስኮች በተለይም በሞለኪውላር ጨረር ኤፒታክሲ (MBE) ስርዓቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።MBEሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ፣ ሌዘር ቴክኖሎጂን እና የላቀ ቁሳቁሶችን ጨምሮ በዘመናዊ ኤሌክትሮኒክስ ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ያለው ሴሚኮንዳክተር ክሪስታሎችን ለመፍጠር የሚያገለግል ዘዴ ነው። በእነዚህ ሂደቶች ውስጥ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መጠንን መጠበቅ አስፈላጊ ነው, እና ቫክዩም insulated ቧንቧቴክኖሎጂ እነዚያን አስፈላጊ ሁኔታዎች ለመጠበቅ ክሪዮጅኒክ ፈሳሾችን በብቃት ማጓጓዝን ያረጋግጣል። ይህ ጦማር ሚና እና ጠቀሜታ ይዳስሳልቫክዩም insulated ቧንቧበ MBE ስርዓቶች ውስጥ.
ሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ ምንድን ነው?MBE)?
ሞለኪውላር ጨረር ኤፒታክሲ (MBE) ሴሚኮንዳክተሮችን ለማምረት ብዙ ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውለው ቀጭን የቁሳቁስ ፊልሞችን ለማሳደግ ከፍተኛ ቁጥጥር የሚደረግበት ሂደት ነው። ሂደቱ የሚካሄደው ከፍ ያለ ክፍተት ባለበት አካባቢ ሲሆን የአተሞች ወይም ሞለኪውሎች ጨረሮች ወደ ታችኛው ክፍል በሚመሩበት ቦታ ላይ ሲሆን ይህም ክሪስታሎች በንብርብር በንብርብር እንዲያድጉ ያስችላል። የዚህን ሂደት ትክክለኛነት ለመጠበቅ, እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መጠኖች ያስፈልጋሉ, ይህም የት ነውቫክዩም insulated ቧንቧቴክኖሎጂ አስፈላጊ ይሆናል.
ያለው ሚናየቫኩም ኢንሱላር ቧንቧ in MBE ስርዓቶች
በቫኩም የተሸፈነ ቧንቧውስጥ ጥቅም ላይ ይውላልMBEእንደ ፈሳሽ ናይትሮጅን ወይም ፈሳሽ ሂሊየም ያሉ ክሪዮጂን ፈሳሾችን ለማጓጓዝ በስርዓቱ ውስጥ ያሉትን ክፍሎች ለማቀዝቀዝ ስርዓቶች. እነዚህ ክሪዮጅኒክ ፈሳሾች እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነውን ቫክዩም እና የሙቀት መቆጣጠሪያን ለመጠበቅ ወሳኝ ናቸው።MBEስርዓቶች ለተመቻቸ አፈጻጸም ያስፈልጋቸዋል. ውጤታማ መከላከያ ከሌለ, ክሪዮጅኒክ ፈሳሾቹ በፍጥነት ይሞቃሉ, በዚህም ምክንያት የሙቀት መጠን አለመረጋጋት እና የ epitaxial እድገትን ጥራት ይጎዳል.
የቫክዩም insulated ቧንቧእነዚህ ክሪዮጅኒክ ፈሳሾች በሚጓጓዙበት ጊዜ አነስተኛ የሙቀት ኪሳራዎችን ያረጋግጣል። በውስጥ እና በውጨኛው ቱቦዎች መካከል ያለው የቫኩም ንብርብር በጣም ቀልጣፋ የኢንሱሌተር ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን ይህም የሙቀት ልውውጥን በመምራት እና በማቀዝቀዝ በመቀነስ በክሪዮጅኒክ ስርዓቶች ውስጥ የሙቀት መለዋወጥ ዋና መንስኤዎች ናቸው።
ለምንየቫኩም ኢንሱላር ቧንቧ አስፈላጊ ነው ለMBE ስርዓቶች
ውስጥ የሚፈለገው ከፍተኛ ትክክለኛነትMBEስርዓቶች ያደርጋልቫክዩም insulated ቧንቧ አስፈላጊነት ። የቪአይፒ ቴክኖሎጂ የስርአቱን የማቀዝቀዝ እና የቫኩም መረጋጋትን የሚረብሽ ክሪዮጅኒክ ፈሳሽ የመፍላትን አደጋን ይቀንሳል። በተጨማሪም ቫክዩም የተከለሉ ቱቦዎችን መጠቀም ተጨማሪ የማቀዝቀዝ ኃይልን በመቀነስ የስርዓቱን አጠቃላይ ብቃት በማሳደግ የኢነርጂ ወጪን ለመቀነስ ይረዳል።
ሌላ ጥቅም መጠቀምቫክዩም insulated ቧንቧውስጥMBEስርዓቶች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ነው. ቧንቧዎቹ ለረጅም ጊዜ የሙቀት መከላከያን ለመጠበቅ የተነደፉ ናቸው, ይህም እንደ ከፍተኛ ጥንቃቄ በተሞላበት አካባቢ ውስጥ ወጥነት ያለው አፈፃፀምን ያረጋግጣል.MBE.
ማጠቃለያ፡-የቫኩም ኢንሱላር ቧንቧ ይጨምራልMBE የስርዓት አፈጻጸም
ውህደትቫክዩም insulated ቧንቧውስጥMBEየእነዚህ ሂደቶች ፍላጎት ከፍተኛ ትክክለኛነት እና መረጋጋት ለመጠበቅ ስርዓቶች ወሳኝ ናቸው። የሙቀት ማስተላለፍን በመቀነስ የቪአይፒ ቴክኖሎጂ ክሪዮጅኒክ ፈሳሾች በሚፈለገው ዝቅተኛ የሙቀት መጠን እንዲቆዩ ፣የተመቻቸ ሴሚኮንዳክተር እድገትን በማስተዋወቅ እና የስራ ማስኬጃ ወጪዎችን እንደሚቀንስ ያረጋግጣል። እንደMBEቴክኖሎጂ እድገት ይቀጥላል, ሚናቫክዩም insulated ቧንቧእነዚህን ሂደቶች ለመደገፍ አስፈላጊ ሆኖ ይቆያል.
የልጥፍ ሰዓት፡- ኦክቶበር 11-2024