የፈሳሽ ናይትሮጅን ማቀዝቀዣ ዘዴዎች በሴሚኮንዳክተር እና ቺፕ ኢንዱስትሪ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ, ሂደቱንም ጨምሮ,
- የሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE) ቴክኖሎጂ
- የቺፕ ሙከራ ከ COB ጥቅል በኋላ
ተዛማጅ ምርቶች
ሞለኪውል ቢም ኤፒታክሲ
የሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE) ቴክኖሎጂ የተገነባው በ 1950 ዎቹ ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ቀጭን ፊልም ቁሳቁሶችን በቫኩም ትነት ቴክኖሎጂን ለማዘጋጀት ነው. እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የቫኩም ቴክኖሎጂ እድገትን ተከትሎ የቴክኖሎጂ አተገባበር ወደ ሴሚኮንዳክተር ሳይንስ ዘርፍ ተዘርግቷል።
HL በብዙ ኢንተርፕራይዞች፣ ዩኒቨርሲቲዎች እና የምርምር ተቋማት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለ የMBE ፈሳሽ ናይትሮጅንን የማቀዝቀዝ ስርዓት፣ የተደራጀ ቴክኒካል የጀርባ አጥንትን በተሳካ ሁኔታ ለኤምቢኢ ቴክኖሎጂ ልዩ MBE ፈሳሽ ናይትሮጅን ማቀዝቀዣ ዘዴን እና የተሟላ የቫኩም የተከለለ የቧንቧ ዝርጋታ ፍላጎት አስተውሏል። .
የሴሚኮንዳክተር እና ቺፕ ኢንዱስትሪ የተለመዱ ችግሮች የሚከተሉትን ያጠቃልላል ።
- የፈሳሽ ናይትሮጅን ግፊት ወደ ተርሚናል (MBE) መሳሪያዎች። የግፊት ጫና ከመበላሸት ተርሚናል (MBE) መሳሪያዎች ይከላከሉ።
- በርካታ ክሪዮጀኒክ ፈሳሽ ማስገቢያ እና መውጫ መቆጣጠሪያዎች
- የፈሳሽ ናይትሮጅን ሙቀት ወደ ተርሚናል መሳሪያዎች
- ምክንያታዊ መጠን ያለው Cryogenic ጋዝ ልቀቶች
- (ራስ-ሰር) ዋና እና የቅርንጫፍ መስመሮችን መቀየር
- የግፊት ማስተካከያ (መቀነስ) እና የቪአይፒ መረጋጋት
- ሊሆኑ የሚችሉ ቆሻሻዎችን እና የበረዶ ቀሪዎችን ከታንክ ውስጥ ማጽዳት
- የተርሚናል ፈሳሽ መሳሪያዎች መሙላት ጊዜ
- የቧንቧ መስመር ቅድመ ማቀዝቀዣ
- በቪአይፒ ስርዓት ውስጥ ፈሳሽ መቋቋም
- በስርዓቱ የማያቋርጥ አገልግሎት ወቅት የፈሳሽ ናይትሮጅን መጥፋትን ይቆጣጠሩ
የ HL's Vacuum Insulated Pipe (VIP) ወደ ASME B31.3 የግፊት ቧንቧ ኮድ እንደ መደበኛ ነው የተሰራው። የምህንድስና ልምድ እና የጥራት ቁጥጥር ችሎታ የደንበኛ ተክል ቅልጥፍና እና ወጪ ቆጣቢነት ለማረጋገጥ.
መፍትሄዎች
HL Cryogenic Equipment ለደንበኞች የሴሚኮንዳክተር እና ቺፕ ኢንዱስትሪ መስፈርቶችን እና ሁኔታዎችን ለማሟላት የቫኩም ኢንሱልድ ቧንቧ ስርዓትን ይሰጣል።
1.Quality Management System: ASME B31.3 የግፊት ቧንቧ ኮድ.
2.A Special Phase Separator ከበርካታ Cryogenic ፈሳሽ ማስገቢያ እና መውጫ ጋር በራስ-ሰር ቁጥጥር ተግባር የጋዝ ልቀትን ፣ እንደገና ጥቅም ላይ የዋለ ፈሳሽ ናይትሮጅን እና የፈሳሽ ናይትሮጅን የሙቀት መጠን ያሟላል።
3.Adequate እና ወቅታዊ የጭስ ማውጫ ንድፍ የተርሚናል መሳሪያዎች ሁልጊዜ በተዘጋጀው የግፊት እሴት ውስጥ እንደሚሰሩ ያረጋግጣል.
4.የጋዝ-ፈሳሽ ባሪየር በ VI ቧንቧ መስመር መጨረሻ ላይ በቋሚ VI ቧንቧ ውስጥ ይቀመጣል. ጋዝ-ፈሳሽ ባሪየር የጋዝ ማኅተም መርህን ይጠቀማል ከ VI ቧንቧው ጫፍ ላይ ያለውን ሙቀት ወደ VI ቧንቧው ለመዝጋት እና በስርዓቱ የማያቋርጥ እና የማያቋርጥ አገልግሎት ጊዜ የፈሳሽ ናይትሮጅን ብክነት ይቀንሳል.
5.VI የቧንቧ መስመር የሚቆጣጠረው በቫኩም ኢንሱሌድ ቫልቭ (VIV) ተከታታይ፡- ቫኩም ኢንሱሌድ (Pneumatic) Shut-off Valve፣Vacuum Insulated Check Valve፣Vacuum Insulated Regulating Valve ወዘተ ጨምሮ የተለያዩ የ VIV ዓይነቶች ቪአይፒን ለመቆጣጠር ሞጁል ሊሆኑ ይችላሉ። ያስፈልጋል። VIV በአምራች ውስጥ ከቪአይፒ ቅድመ-ግንባታ ጋር የተዋሃደ ነው ፣ ያለ ቦታ ላይ ገለልተኛ ህክምና። የ VIV ማህተም ክፍል በቀላሉ ሊተካ ይችላል. (ኤችኤል በደንበኞች የተሰየመውን ክሪዮጀንሲያዊ ቫልቭ ብራንድን ይቀበላል እና ከዚያም በ HL ቫክዩም የተከለሉ ቫልቮች ይሠራል። አንዳንድ ብራንዶች እና የቫልቭ ሞዴሎች ወደ ቫክዩም የተከለሉ ቫልቮች ሊሠሩ አይችሉም።)
6.Cleanliness, የውስጥ ቱቦ ወለል ንጽህና የሚሆን ተጨማሪ መስፈርቶች አሉ ከሆነ. አይዝጌ ብረትን የበለጠ ለመቀነስ ደንበኞች ቢኤ ወይም ኢፒ አይዝጌ ብረት ቧንቧዎችን እንደ ቪአይፒ የውስጥ ቧንቧዎች እንዲመርጡ ይመከራል።
7.Vacuum Insulated Filter፡- ሊሆኑ የሚችሉ ቆሻሻዎችን እና የበረዶ ቀሪዎችን ከታንክ ያፅዱ።
8.ከጥቂት ቀናት ወይም ከዚያ በላይ ከተዘጋ ወይም ከጥገና በኋላ ክሪዮጀኒክ ፈሳሽ ከመግባቱ በፊት የ VI ቧንቧዎችን እና ተርሚናል መሳሪያዎችን ቀድመው ማቀዝቀዝ ያስፈልጋል። የቅድመ ማቀዝቀዣ ተግባር በንድፍ ውስጥ ግምት ውስጥ መግባት አለበት. ለተርሚናል መሳሪያዎች እና ለ VI ቧንቧ ድጋፍ መሳሪያዎች እንደ ቫልቮች የተሻለ ጥበቃ ይሰጣል.
9.Suit ለሁለቱም ተለዋዋጭ እና የማይንቀሳቀስ ቫኩም ኢንሱልድ (ተለዋዋጭ) የቧንቧ ስርዓት።
10.Dynamic Vacuum Insulated (ተለዋዋጭ) የቧንቧ መስመር፡- የ VI ተጣጣፊ ቱቦዎች እና/ወይም VI ፓይፕ፣ የጁምፐር ቱቦዎች፣ የቫኩም ኢንሱላር ቫልቭ ሲስተም፣ የደረጃ መለያየት እና ተለዋዋጭ የቫኩም ፓምፕ ሲስተም (የቫኩም ፓምፖችን፣ ሶሌኖይድ ቫልቮች እና የቫኩም ጋውስ ወዘተ ጨምሮ) ያካትታል። ). የነጠላ VI Flexible Hose ርዝመት በተጠቃሚ መስፈርቶች መሰረት ሊበጅ ይችላል።
11.Various Connection Types: Vacuum Bayonet Connection (VBC) አይነት እና የተበየደው ግንኙነት ሊመረጥ ይችላል. የቪቢሲ አይነት በቦታው ላይ ገለልተኛ ህክምና አያስፈልገውም።